真空爐

產品簡介

真空爐是用石墨/鉬/鎢/感應作發熱元件的真空電阻爐，主要應用于氮化鋁粉體制備等在真空或反應氣氛中高溫燒結，也可以供金屬材料在高真空條件下的高溫熱處理或貴金屬材料的除氣處理。

產品型號：

更新時間：2025-08-12

廠商性質：生產廠家

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PRODUCT CLASSIFICATION

V系列-真空爐

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這篇文章幫助你了解CVD管式爐的產品特點以及注意事項

ITO靶材應用及發展前景

管式爐做熱處理時有哪些實驗步驟？

雙工位真空熱壓爐的系統結構特點

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品牌	HAOYUE/皓越	升溫速度（達到最高溫）	20℃//min
內部尺寸	800x800x1200mm	加熱方式	石墨電阻
最大功率	450kkW	控溫精度	±1℃
最高溫度	2300℃	價格區間	面議
儀器種類	真空爐	產地類別	國產
應用領域	化工,地礦,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬

設備簡介
該真空爐是用石墨/鉬/鎢/感應作發熱元件的真空爐，主要應用于陶瓷、硬質合金、復合材料等在真空或保護氣氛中高溫燒結或退火等熱處理，也可以供金屬材料在高真空條件下的高溫熱處理或貴金屬材料的除氣處理。

產品特點

采用臥式、側開門結構：裝卸物料，操作方便；

升溫快：升溫速率10℃/分鐘(≤1600℃)，升溫速率5℃/分鐘(＞1600℃)；

設計優化好：加熱室熱場經熱態模擬計算，具有非常高的溫度均勻性、配置的加熱元件及隔熱層采用模塊化優化設計；

采用多溫區控制：預留多個測溫孔，以便高溫監測使用；

溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±5℃（5點測溫，恒溫區1000℃保溫1h后檢測）；

冷卻速度快：可選配2bar-10bar氣體壓力下快速冷卻系統，保證工件熱壓完畢快速冷卻，高效運行；

穩定性好：設備長時間運行穩定，故障率非常低；

安全性能好：采用HMI+PLC+PID壓力傳感控制，安全可靠；

可拓展性強：可燒結、退火、脫脂、除氣等。

產品規格及技術指標

編號	產品型號	有效區尺寸（mm）	冷態極限真空度(Pa)	最高工作溫度(℃)	適用工藝
V4	VHSgr-40/40/60-T	400x400x600	6.7X10-3	1300/2000/2300	燒結/退火/脫脂/氫氣


V6	VHSgr-60/60/90-T	600x600x900	6.7X10-3	1300/2000/2300	燒結/退火/脫脂/氫氣


V-800	VHSgr-80/80/120-T	800x800x1200	6.7X10-3	1300/2000/2300	燒結/退火/脫脂/氫氣


V-1000	VHSgr-100/100/200-T	1000x1000x2000	6.7X10-3	1300/2000/2300	燒結/退火/脫脂/氫氣

一、定義

真空爐是一種在爐腔這一特定空間內，利用真空系統（包括真空泵、真空測量裝置和真空閥門等組件）將爐腔內部分物質排出，以降低爐腔內壓強，使其小于一個標準大氣壓，從而實現真空狀態的工業爐。

二、工作原理

真空爐的工作原理涉及一系列復雜的步驟，主要包括：

啟動真空系統，包括機械泵、維持泵等，對爐腔進行抽真空，降低其內部壓強。

當真空度達到特定要求時，加熱系統開始工作，對爐腔內的材料進行加熱處理。

在真空環境中，材料可以避免與空氣中的氧氣等發生化學反應，從而實現無氧化、無脫碳的加熱過程。

加熱完成后，可以進行快速冷卻或其他后續處理。

三、應用領域

真空爐在多個領域都有廣泛應用，包括：

電子行業：在集成電路的制造過程中，真空爐用于高溫退火和低壓化學氣相沉積，以提高芯片的質量和可靠性。

航天航空業：用于制作高溫合金材料和先進陶瓷材料，這些材料經真空熱處理后具有更高的強度和抗腐蝕性。

材料科學領域：在金屬材料的制備過程中，真空熱處理可以消除材料中的微觀缺陷和內部應力，提高材料的整體性能。

四、優缺點

優點：

無氧化、無脫碳：真空環境避免了材料與空氣中的氧氣等發生化學反應，從而得到無氧化、無脫碳的清潔表面。

環保：對環境無污染，不需進行三廢處理。

高精度控溫：爐溫測定和監控精度高，可提高產品質量。

高能效：現代先進的真空爐采用優質隔熱材料，節能效果好。

總的來說，真空爐以其高精度、高質量和高效率的特點，在多個領域發揮著重要作用。隨著科技的不斷發展，真空爐的技術和應用領域還將進一步拓展。

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